Hydra-dry

Наши приборы измерения давления семейства HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции была разработанна для специальных требований, предъявляемых к технологическому оборудованию и систем распределения особо чистых химических сред.

Датчик давления HYDRA-Dry обеспечивает высокую точность и надежность всех особо чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Отсутствует заполняющая жидкость, что позволяет избежать вероятности загрязнения процесса.

Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении с 100 классом чистоты.

Двойная защита
Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение датчика давления и измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как испарения плавиковой кислоты HF или хлороводорода HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.